Станки для лазерной подгонки резисторов

Группа компаний «Лазеры и аппаратура» производит лазерные машины для подгонки резисторов с 2005 года. На сегодняшний день мы обладаем большим опытом разработки и внедрения такого оборудования — на заводах в России работает несколько десятков таких станков.

Описание

Лазерная подгонка (нормирование) плёночных и фольговых резистивных элементов путём изменения их конфигурации является одним из наиболее часто используемых методов настройки электрических параметров схем в микроэлектронике. В этом случае конечный результат – сопротивление, точность, стабильность резистивного элемента – зависит от параметров лазерного реза: его длины и ширины, конфигурации и ориентации на теле резистивного элемента. В отличие от других способов лазерная подгонка универсальна как с точки зрения материалов плёнок, так и с точки зрения наличия установленных поверхностномонтируемых элементов, а также имеет наибольшие перспективы в части автоматизации.

Установки серии МЛ5 могут применяться для лазерной подгонки резистивных элементов любого типа: отдельных фольговых, тонко- или толстоплёночных чип-резисторов, нагревателей, сгруппированных в СВЧ-структуры плёночных резисторов либо являющихся составной частью гибридных интегральных схем. Исходя из различных вариантов конструктивных особенностей резисторов, а также требуемой производительности разработаны и выпускаются три типа серийных установок с возможностью комплектования дополнительными опциями, учитывающими индивидуальные требования заказчика.

Преимущества лазерной подгонки резисторов:

• высокая локальность (в том числе минимальное воздействие на подложку);
• возможность применения в ГИС малых размеров и с высокой плотностью размещения элементов;
• высокая управляемость;
• малая инерционность процесса;
• возможность использования обратной связи по подстраиваемому параметру, что позволяет контролировать процесс подгонки в режиме реального времени;
• возможность подгонки резистивных элементов в работающей схеме;
• отвечающая современным требованиям производительность.

Особенности лазерных установок серии МЛ5:

• возможность конфигурирования установки под индивидуальные потребности заказчика;
• компактное моноблочное исполнение: рабочее место оператора с элементами управления объединено с рабочей зоной станка и всеми модулями;
• литая платформа на виброопорах для устранения внешних воздействий;
• широкий выбор возможных типов лазеров (волоконный, диодный, УФ) с вариантами длин волн 1064 нм, 527 нм, и воздушным охлаждением отечественного производства;
• цифровые измерительные системы на основе отечественных многоканальных преобразователей напряжения, внесённых в Государственный реестр средств измерений;
• возможность синхронизации импульсов лазерного излучения и тактов измерительной системы;
• высокоточные измерения по 4х-зондовой схеме Кельвина;
• простота подключения: один кабель 220В + подвод вытяжки к установленному патрубку для удаления испаряемого материала.
• надёжная вакуумная или механическая фиксация подложек на предметном столике;
• поддержание стабильной температуры в точке подгонки при помощи термостола;
• применение методов машинного зрения для ориентации, поиска дефектов и отбраковочного контроля (опция);
• система токовой тренировки и подгонки для уменьшения значения сопротивления резисторов (опция);
• применение автоматического расчёта оптимальной траектории подгонки (опция);
• ведение лог-файла;
• разграничение прав доступа «пользователь – технолог – наладчик».